二手愛德華真空泵可用于輕型應用,例如晶圓處理、PVD 和計量。它以大獲成功的 iXL120 泵為基礎,具有高抽速和低能耗的特點。綠色模式可減少閑置期間的公用事業使用量,從而節省成本并有助于保護環境。特性和優點 • 較快的腔室抽氣時間之一,可減少總平均循環時間 (TACT).
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